- 電機驅(qū)動部分通過靜電激勵方法，使驅(qū)動電路前后振蕩，為機械元件提供勵磁；
- 感應(yīng)部分通過測量電容變化來測量科里奧利力在感應(yīng)質(zhì)點上產(chǎn)生的位移，這是一個穩(wěn)健、可靠的技術(shù)，被成功地用于ST的MEMS產(chǎn)品線，能夠提供強度與施加在傳感器上的角速率成正比的模擬或數(shù)字信號。
圖 2：一個單軸偏航MEMS陀螺儀的結(jié)構(gòu)簡圖
在控制電路內(nèi)部有先進的電源關(guān)斷功能，當不需要傳感器功能時，可關(guān)閉整個傳感器，或讓其進入深度睡眠模式，以大幅降低陀螺儀的總功耗，當需要檢測傳感器上施加的角速率時，在接到用戶的命令后，傳感器可從睡眠模式中立即喚醒。
與ST的MEMS加速計類似，MEMS陀螺儀也沿用一個系統(tǒng)級封裝(SIP)方法，機械感應(yīng)元器件與其調(diào)節(jié)ASIC電路放在同一個封裝內(nèi)。
智能設(shè)計方法結(jié)合先進的封裝解決方案使得該系列產(chǎn)品的封裝尺寸大幅縮減，多軸陀螺儀的系統(tǒng)封裝面積僅為3x5 mm2 ，最大厚度僅為1mm (圖3)，同時在最終產(chǎn)品的生命周期內(nèi)確保傳感器的穩(wěn)定性和高性能。
圖 3：采用超小LGA封裝的ST多軸陀螺儀
意法半導(dǎo)體為客戶提供1軸-3軸、30dps-6000dps的各種陀螺儀傳感器，讓系統(tǒng)設(shè)計工程師能夠解決不同的應(yīng)用：從圖像穩(wěn)定器到游戲，從指向裝置到機器人控制。
特別是，像ST的3軸加速度傳感器一樣，高性能3軸陀螺儀的問市正在促進手機、游戲機等設(shè)備實現(xiàn)先進的人機界面。
不僅有運動傳感器，還有…全新的地磁感應(yīng)計正在融入消費電子產(chǎn)品。
磁感應(yīng)計能夠測量多個軸向的地球磁場強度，讓便攜設(shè)備實現(xiàn)更強的羅盤和導(dǎo)航功能。
類似于運動傳感器，消費電子產(chǎn)品和手機也是增長最快的磁感應(yīng)計市場，2009年磁感應(yīng)計市場增幅逾100%。據(jù)iSuppli最新的市場研究報告，這個市場增長非?？?，出貨量預(yù)計從2008年的800萬件，增長到2013年5.40億，年復(fù)合增長率（CAGR）達到129%。
